乙硅烷是一種無(wú)機(jī)化合物，其化學(xué)式為Si2H6，在常溫常壓下為無(wú)色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體。它具有與硅烷類(lèi)似的化學(xué)性質(zhì)，但其反應(yīng)性比硅烷更強(qiáng)。它比硅烷更不穩(wěn)定，在室溫緩慢分解成硅烷和氫。在300～500℃分解成為SiH4、SinHm、H2，在光照下也分解。主要用于太陽(yáng)能電池、感光轉(zhuǎn)筒、非晶硅膜、外延成長(zhǎng)、氧化膜、氮化膜、化學(xué)氣相沉積等方面。